| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZsFDuKxG/CxdgB |
| Repositório | sid.inpe.br/marciana/2004/06.22.10.27 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2015:11.18.11.44.23 (UTC) marciana |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/marciana/2004/06.22.10.27.58 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.28.40 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-10739-PRE/6198 |
| ISBN/ISSN | 0925-9635 |
| ISSN | 0925-9635 |
| Chave de Citação | FerreiraCoraTravLeit:2000:OEStPl |
| Título | OES study of the plasma during CVD diamond growth using CCl4/H-2/O-2 mixtures  |
| Ano | 2000 |
| Mês | apr-may |
| Data de Acesso | 18 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 324 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Ferreira, Neidenei Gomes 2 Corat, Evaldo Jose 3 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus 4 Leite, Nelia Ferreira |
| Grupo | 1 LAS-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - LAS 2 Universidade São Francisco - Itatiba |
| Revista | Diamond and Related Materials |
| Volume | 9 |
| Número | 3-6 |
| Páginas | 368-372 |
| Histórico (UTC) | 2015-11-18 11:44:11 :: administrator -> marciana :: 2000 2015-11-18 11:44:23 :: marciana -> administrator :: 2000 2018-06-05 01:28:40 :: administrator -> marciana :: 2000 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Tipo de Versão | publisher |
| Palavras-Chave | diamond films gas phase halide chemistry optical spectroscopy |
| Resumo | Generation of atomic hydrogen in H-2/Ar/CCl4 microwave discharges with O-2 addition has been investigated, in situ mass spectrometry and emission hydrogen-atom actinometry have been used in the microwave-plasma-assisted chemical vapor deposition (MWPACVD) reactor. Optical emission spectroscopy (OES) was used to study the intensity of H-alpha, H-beta and H-gamma lines using argon as actinometer. The results showed different increases in the atomic hydrogen concentration for the three hydrogen lines analyzed for additions of up to 1.5% CCl4. These results confirm a previous study on the validity of the OES technique using the H-gamma line intensity. An additional increase in the atomic hydrogen generation was also observed when O-2 was added to the H-2/CCl4 mixtures. Chemical reaction products, detected by exhaust-gas mass spectrometry, showed that CCl4 is completely dissociated in the plasma reactor with a fast conversion into hydrocarbons. The effects of O-2 addition lead an increase in CO and H2O formation associated with a decrease in CH4 and C2H2 concentration. Oxygen decreases the hydrocarbon concentration for high concentrations of halogenated precursor. This behavior inhibits the formation of solid carbon observed in mixtures with chlorine and permits the production of good-quality CVD diamond films owing to the high generation of atomic hydrogen. The films grown in different concentrations of CCl4 and O-2 were analyzed by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. (C) 2000 Elsevier Science S.A. All rights reserved. |
| Área | FISMAT |
| Arranjo | urlib.net > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > OES study of... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | 2000_ferreira.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator marciana |
| Grupo de Leitores | administrator marciana |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft24 |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |